中国激光, 2006, 33 (suppl): 415, 网络出版: 2006-04-21   

飞秒激光在微加工中的应用

Applications of Femtosecond Laser Micromachining
作者单位
1 华中科技大学激光技术国家重点实验室,湖北 武汉 430074
2 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室, 陕西 西安 710068
摘要
采用波长800 nm,脉冲宽度150 fs,脉冲重复率1 kHz的飞秒激光,研究了在不同物质以及不同加工条件下的微加工特性,在镀金薄膜和镀银薄膜上获得了近衍射极限的刻线加工尺度,在半导体GaAs材料上制备了直径3 μm 的4×4点阵。 在加工速度为400 μm/s的条件下,在ZK6玻璃和LaF2玻璃上制备了透射式衍射光栅,光栅常数分别为2.5 μm和5 μm。
Abstract
The 800 nm, 150 fs, 1 kHz femtosecond laser micromachining for different materials under different processing conditions is studied. The diffraction-limited cutting on the gold and silver films is obtained, respectively. A 4×4 array holes with the diameter of 3 μm are drilled in the GaAs materials. The transmission gratings with the grating constant of 2.5 μm and 5 μm are fabricated into the ZK6 and LaF2 glasses at the machining speed of 400 μm/s.

高飞, 袁孝, 程光华, 赵卫. 飞秒激光在微加工中的应用[J]. 中国激光, 2006, 33(suppl): 415. 高飞, 袁孝, 程光华, 赵卫. Applications of Femtosecond Laser Micromachining[J]. Chinese Journal of Lasers, 2006, 33(suppl): 415.

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