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128元非致冷氧化钒红外探测器的制作

Fabrication of 128-element uncooled VOx thermal IR detectors

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摘要

采用新工艺在氮化硅衬底上制备了室温时电阻温度系数为-0.021K-1的氧化钒薄膜,以此为基础,利用光刻和反应离子刻蚀工艺在硅衬底上制作了128元氧化钒红外探测器.为了降低探测器敏感元与衬底间的热导,设计制作了自支撑的微桥结构阵列.测试结果显示探测器的响应率和探测率在8~12μm的长波红外波段处分别达到104V/W和2×108cmHz1/2W-1.

Abstract

A new method fabricating Vanadium oxides thin films on Si 3N 4 substrates has been completed, and the temperature coefficient resistance of the thin film has been found to be -0.021K -1 at room temperature. Based on the method, 128 element linear uncooled infrared detector arrays are fabricated utilizing pattern and reactive ion etching process. Self supporting microbridge array has also been designed and fabricated to reduce the thermal conductance between the active area of detectors and the silicon substrate. Test indicates the responsivity and detectivity of detectors approaching 10 4V/W and 2×10 8cm Hz1/2 W-1 in 8~12μm IR radiation band, respectively.

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补充资料

中图分类号:TN215;O484.1

基金项目:国家自然科学基金重点资助项目(60106003)

收稿日期:2003-08-17

修改稿日期:2003-12-29

网络出版日期:2004-04-01

作者单位    点击查看

王宏臣:华中科技大学激光国家重点实验室,湖北,武汉,430074华中科技大学光电子工程系,湖北,武汉,430074
易新建:华中科技大学激光国家重点实验室,湖北,武汉,430074华中科技大学光电子工程系,湖北,武汉,430074
陈四海:华中科技大学光电子工程系,湖北,武汉,430074
黄光:华中科技大学光电子工程系,湖北,武汉,430074
肖静:华中科技大学激光国家重点实验室,湖北,武汉,430074华中科技大学光电子工程系,湖北,武汉,430074

备注:王宏臣(1979-),男,河南新乡人,华中科技大学博士生,主要从事非致冷红外探测器和MOMES微型光机电系统的研究.

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引用该论文

王宏臣,易新建,陈四海,黄光,肖静. Fabrication of 128-element uncooled VOx thermal IR detectors[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2004, 23(2): 99-102

王宏臣,易新建,陈四海,黄光,肖静. 128元非致冷氧化钒红外探测器的制作[J]. 红外与毫米波学报, 2004, 23(2): 99-102

被引情况

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