应用光学, 2001, 22 (5): 46, 网络出版: 2006-05-19  

二维微变形测试器

TWO-DIMENSIONAL MICROMETE
作者单位
1 华北工学院山西太原 030051
2 广灵三中山西大同 037500
摘要
利用光电位置传感器和二维双光杠杆放大,能够测量出二维微小距离的变化.本文介绍二维光电传感器双光杠杆测微原理及方法.
Abstract
The change of two dimensional micro distance is measured by using a position sensor and the two dimensional amplification of double optical lever.Since the change of micro distance cause the change of reflected spot on the position sersor diode,the change of micro distance could be tested by testing the coordinate X,Y in the position sensor diode.

高永全, 王晓光, 周惠, 杨翠云. 二维微变形测试器[J]. 应用光学, 2001, 22(5): 46. 高永全, 王晓光, 周惠, 杨翠云. TWO-DIMENSIONAL MICROMETE[J]. Journal of Applied Optics, 2001, 22(5): 46.

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