光子学报, 2005, 34 (4): 496, 网络出版: 2006-06-12  

带有锥形增益区14xxnm量子阱激光器的研制

14xxnm Quantum Well Lasers with Tapered Gain Region
作者单位
中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心,北京,100083
摘要
利用MOCVD生长了14xxnm AlGaInAs/AlInAs/InP应变量子阱外延片.采用带有锥形增益区脊型波导结构和普通条形脊型波导结构在相同的实验条件下制作800μm腔长激光器管芯,在相同的驱动电流下前者可以获得更高的输出光功率,而且P-Ⅰ曲线线性度较好、饱和电流高.1200μm腔长带有锥形增益区脊型波导结构管芯功率达到500mW,饱和电流3A以上,峰值波长1460nm,远场发散角为39°×11°.
Abstract
The 14xxnm AlGaInAs/AlInAs/InP Strained Quantum Well Lasers with Tapered Gain Regions and with Ridge Waveguide is fabricated under the same experimental condition. The laser structure is grown by MOCVD. The output power and the saturation current of the former structure is higher than the latter under the same driving current when the cavity length is 800 μm. When the cavity length is 1200 μm the output power above 500 mW and the saturation current above 3 A have been achieved for the former structure. The measured vertical and parallel divergence angle are 39° and 11°, respectively.

张洪波, 韦欣, 朱晓鹏, 王国宏, 张敬明, 马骁宇. 带有锥形增益区14xxnm量子阱激光器的研制[J]. 光子学报, 2005, 34(4): 496. 张洪波, 韦欣, 朱晓鹏, 王国宏, 张敬明, 马骁宇. 14xxnm Quantum Well Lasers with Tapered Gain Region[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2005, 34(4): 496.

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