红外与毫米波学报, 2006, 25 (2): 105, 网络出版: 2006-07-05
应用于40Gb/s电吸收调制器的Al2O3高速热沉研究
HIGH-SPEED Al2O3 -BASED SUBMOUNT FOR 40Gb/s ELECTROABSORPTION MODULATORS TIAN Jian-Bai XIONG Bing WANG Jian CAI Peng-Fei SUN Chang-Zheng LUO Yi
摘要
设计制作了面向40Gb/s电吸收调制器(EAM)的高速微波过渡热沉,并进行了EAM管芯级封装测试的验证.这种基于氧化铝(Al2O3)的热沉采用共面波导(CPW)传输线以实现低损耗微波传送,以及Ta2N薄膜电阻用于EAM的阻抗匹配.采用Ti/Cu/Ni/Au金属材料作为CPW传输线电极材料,从而保证CPW传输线与Ta2N电阻材料之间良好的电接触,使热沉的典型反射系数在0～40GHz范围内均达到优于-21 dB的水平.作为验证,采用该种热沉用于高速EAM的管芯级封装,测试得到小信号调制响应带宽超过40GHz.
Abstract
田建柏, 熊兵, 王健, 蔡鹏飞, 孙长征, 罗毅. 应用于40Gb/s电吸收调制器的Al2O3高速热沉研究[J]. 红外与毫米波学报, 2006, 25(2): 105. 田建柏, 熊兵, 王健, 蔡鹏飞, 孙长征, 罗毅. HIGH-SPEED Al2O3 -BASED SUBMOUNT FOR 40Gb/s ELECTROABSORPTION MODULATORS TIAN Jian-Bai XIONG Bing WANG Jian CAI Peng-Fei SUN Chang-Zheng LUO Yi[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2006, 25(2): 105.
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