自锁型2×2和1×4光开关是在{10}硅基片上采用各向异性湿刻蚀工艺技术在KOH中制备的微机械光开关。这种制各方法可以低成本一次投料就能获得大量适合光纤对准、具有很高精度的微机械本光开关包括两个硅热驱动器:一个驱动并联U形悬臂梁产生光纤侧向移动,另一个驱动夹持光纤用的H形扣子平台;通过薄的有弹性的硅臂把U形悬臂梁与刚性的能抗光纤角位移的平台连接起来。所制各的光开关具有产率高、机械稳定性好和优良的光’学性能。采用标准单模光纤的光开关其串话小于-60 dB.1×4和2×2光开关插入损耗分别为小于1 dB和近1 dB。在开关期间(<300 ms),2×2,1×4光开关所需驱动功率分别为<0.6 W和1.0 W 1×2光开关已做了寿命试验,无误工作循环大于106次,并目在室温下经一年多的工作,没有看到光’笋性能和开关行为的退化。