中国激光, 2000, 27 (4): 363, 网络出版: 2006-08-09   

一种类石墨薄膜的场发射研究

Field Electron Emission Research on Graphite-like Film
作者单位
1 郑州工业大学数理系 郑州 450002
2 郑州大学物理工程学院 郑州 450052
3 中国科学院安徽光机所 合肥 230031
摘要
利用KrF准分子激光器及聚酰亚胺靶在硅衬底上沉积出了类石墨薄膜。借助于X射线光电子谱及Raman光谱手段对薄膜微结构进行了分析。并用该薄膜作阴极,研究了其场发射特性。实验结果显示出该薄膜具有较好的场电子发射性能,发射点密度高达1×105/cm2以上。有可能作为一种新型的冷阴极电子源。
Abstract
The graphite-like film was prepared by pulsed laser deposition technique (PLD) using a KrF excimer laser (λ=248 nm). The structure of the film was investigated using X-ray Photo-electron Spectroscopy (XPS) and Raman spectroscopy, it indicates that graphite structure existes in this film. The mechanism of the field emission from the film was discussed. The emission site density of the film more than 1×105/cm2 was obtained. The experimental results indicate that the graphite-like film could be a new type of a cold cathode electronic source for use.

马会中, 张兰, 姚宁, 毕兆琪, 张兵临, 胡欢陵. 一种类石墨薄膜的场发射研究[J]. 中国激光, 2000, 27(4): 363. 马会中, 张兰, 姚宁, 毕兆琪, 张兵临, 胡欢陵. Field Electron Emission Research on Graphite-like Film[J]. Chinese Journal of Lasers, 2000, 27(4): 363.

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