激光与光电子学进展, 2006, 43 (8): 27, 网络出版: 2006-08-31  

全硅片上光互连用波导

Optical Waveguide for On-Chip Interconnect
作者单位
1 天津工业大学信息与通信工程学院, 天津 300160
2 中国科学院半导体研究所, 北京 100083
3 天津大学电子信息工程学院, 天津 300072
摘要
较详细地分析了用于全硅片上光互连所用光波导(如多晶 Si/ SiO2、Si/ SiO2、Si3N4/SiO2)需满足的基本条件、制作方法以及损耗机制, 总结了目前的研究进展。
Abstract
The waveguides (poly Si/ SiO2, Si/SiO2, Si3N4/SiO2) for on-chip optical interconnect have been analyzed in detail, including the basic conditions, fabrication method and loss mechanism. The recent progress is summarized.

代晓光, 牛萍娟, 张宇, 陈弘达, 毛陆虹, 郭维廉. 全硅片上光互连用波导[J]. 激光与光电子学进展, 2006, 43(8): 27. 代晓光, 牛萍娟, 张宇, 陈弘达, 毛陆虹, 郭维廉. Optical Waveguide for On-Chip Interconnect[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2006, 43(8): 27.

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