强激光与粒子束, 2006, 18 (1): 15, 网络出版: 2006-10-19
分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析
Electro-mechanical coupled analysis of continuous-membrane bulk-micromachined silicon deformable mirror
摘要
针对基于MEMS技术制造的连续面型薄膜微变形反射镜,从薄膜理论出发对其力电耦合变形特性进行理论分析,导出了镜面变形表达式.利用该式及响应频率表达式,定量分析了镜面相关尺寸参数对变形量的关系,为变形镜的结构设计提供了可靠的理论依据.结果表明,当镜面厚度为1 μm且与驱动电极间距20 μm时,对控制电压不超过120 V,响应频率大于50 kHz的应用场合,变形镜镜面半径应在2.1～13.8 mm之间进行选择.仿真结果显示,驱动电压较小时,镜面变形与驱动电压平方近似成线性关系.
Abstract
刘彦, 陈海清, 余洪斌, 吴鹏, 向晓燕, 杨国元. 分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(1): 15. 刘彦, 陈海清, 余洪斌, 吴鹏, 向晓燕, 杨国元. Electro-mechanical coupled analysis of continuous-membrane bulk-micromachined silicon deformable mirror[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18(1): 15.
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