强激光与粒子束, 2006, 18 (7): 1099, 网络出版: 2006-10-20
微加工薄膜变形镜特性分析
Analysis of characteristics of micromachined membrane deformable mirror
摘要
借助测量微加工薄膜变形镜驱动器的面形影响函数,分析了驱动器的电压-位移函数和驱动器之间的线性叠加性;通过对连续面形变形镜拟合像差的理论分析和实验研究,建立了微加工薄膜变形镜电压解耦模型.分析了对前36阶Zernike模式的拟合残差和拟合能力,指出微加工薄膜变形镜仅可用来拟合低级像差并且有较大的拟合能力和较小的拟合残差,而不能拟合高级像差.
Abstract
李恩德, 段海峰, 戴云, 蒋鹏, 张雨东. 微加工薄膜变形镜特性分析[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(7): 1099. 李恩德, 段海峰, 戴云, 蒋鹏, 张雨东. Analysis of characteristics of micromachined membrane deformable mirror[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18(7): 1099.
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