电子束曝光机大物面强磁透镜的研究

尹明; 孙晓军

光子学报, 2004, 33 (4): 509, 网络出版: 2006-10-25

电子束曝光机大物面强磁透镜的研究

尹明孙晓军

作者单位

山东大学控制科学与工程学院电子束室,济南,250061

电子束曝光机透镜像差畸变近轴轨迹

摘要

以SDS-3电子束曝光机的聚焦透镜系统为基础,在0.005弧度半张角,3×10-5的高压纹波,50 mm的像距,30×30 mm扫描场的条件下,研究了电磁透镜成像的笛卡尔坐标系中的近轴轨迹方程,给出了相应的计算初值条件和实例.讨论了电子束曝光机聚焦透镜系统中的球差、彗差、像散、场曲和畸变等电子光学特性的确定以及系统像质评定的问题.

Abstract

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尹明, 孙晓军. 电子束曝光机大物面强磁透镜的研究[J]. 光子学报, 2004, 33(4): 509. 尹明, 孙晓军. [J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2004, 33(4): 509.