光电子技术, 2006, 26 (1): 26, 网络出版: 2006-10-25
纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究
Study on the Extraction of Optical Constants and Thickness of Nanometer-scale Film
摘要
采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备了不同厚度的单层TiO2、Au纳米薄膜和双层TiO2/Au纳米薄膜,并测量了这些薄膜的透射光谱.通过设计计算机程序拟合透射光谱;获取了薄膜的折射率和消光系数随波长的变化曲线以及薄膜的厚度.这种拟合方法是以非线性约束优化理论为基础的,具有透射光谱易测量、计算精度高等特点.
Abstract
金文豪, 徐东, 杨莺歌, 张亚非. 纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究[J]. 光电子技术, 2006, 26(1): 26. 金文豪, 徐东, 杨莺歌, 张亚非. Study on the Extraction of Optical Constants and Thickness of Nanometer-scale Film[J]. Optoelectronic Technology, 2006, 26(1): 26.
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