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大口径光学件误差均化拼接技术

Large aperture optical components of stitching technique by error averaging

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摘要

运用子孔径检测及拼接的方法可完成大口径光学件面形的干涉测量.为了能够减少子孔径拼接的误差累积与数据处理算法带来的精度影响,运用子孔径拼接的误差拼接算法,并通过对实验检测数据的处理,得到拼接结果与全孔径检测结果比较,面形波面峰谷值相差0.084(,均方根值相差0.01(,误差在Veeco光学干涉测量仪器的公差范围内.实验结果验证了误差均化算法可有效减少误差的传递与累积,实现子孔径拼接技术对大口径光学件的正确检测.

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补充资料

中图分类号:TN247

所属栏目:先进光学制造技术

收稿日期:2005-09-19

修改稿日期:2005-12-09

网络出版日期:2006-06-30

作者单位    点击查看

程刚:中国矿业大学,机电工程学院,江苏,徐州,221008
蒋世磊:中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209

备注:程刚(1977-),男(汉族),安徽淮北人,在读博士生,主要研究工作是光学检测与智能控制.E-mail:cgwqx@163.com

【1】Michael BRAY.Stitching interferometer for large optics:Recent developments of a system[J].SPIE,1999,3492:946-956.

【2】OTSUBO M,OKADA K.Measurement of large plane surface shapes by connecting small-aperture interferograms[J].Opt.Eng,1994,33(2):608-613.

【3】CHEN Ming-Yi.Multi-aperture overlap-scanning technique for large aperture test[J].SPIE,1991,1553:626-635.

【4】Michael BRAY.Stitching interferometry:side effects and PSD[J].SPIE,1999,3782:443-452.

【5】郭红卫,陈明仪.圆柱坐标系下的多孔径扫描拼接技术[J].光学学报,2000,20:1047-1052.GUO Hong-wei,CHEN Ming-yi.An iterative algorithm of multi-aperture transformation and connection technique in cylindrical coordinates[J].Acta Optica Sinica,2000,20:1047-1052.

引用该论文

程刚,蒋世磊. Large aperture optical components of stitching technique by error averaging[J]. Opto-Electronic Engineering, 2006, 33(6): 118-120

程刚,蒋世磊. 大口径光学件误差均化拼接技术[J]. 光电工程, 2006, 33(6): 118-120

被引情况

【1】满玉春,张学军. 子区域拼接数字莫尔条纹非球面检测的理论分析. 光学 精密工程, 2008, 16(3): 420-425

【2】卢云君,唐锋,王向朝,郭福东. 平面子孔径拼接干涉测量精度分析. 中国激光, 2018, 45(4): 404002--1

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