光电工程, 2005, 32 (1): 5, 网络出版: 2007-11-14
采用神经网络控制的超精密平面定位
摘要
设计了一种基于激光莫尔信号的超精密平面定位装置,该装置可实现高精度位置检测及X-Y-( 三自由度的全自动精密平面定位.激光莫尔信号传感器为相位相差180(的两组衍射光栅,构成差动光栅技术,可有效提高位置检测信号灵敏度及定位精度.针对系统存在非线性,精确控制模型难以建立的缺陷,提出基于RBF神经网络的精密定位控制,其控制响应快、稳定性好、鲁棒性强,可有效改善控制质量,提高定位速度.实验结果表明,基于激光莫尔信号的精密定位装置可获得亚微米级的平面定位精度.
Abstract
张金龙, 余玲玲, 内田敬久, 刘京南. 采用神经网络控制的超精密平面定位[J]. 光电工程, 2005, 32(1): 5. 张金龙, 余玲玲, 内田敬久, 刘京南. [J]. Opto-Electronic Engineering, 2005, 32(1): 5.