光电工程, 2005, 32 (4): 93, 网络出版: 2007-11-14   

飞秒激光三维微细加工技术

作者单位
江苏大学,光子制造科学技术中心,江苏,镇江,212013
摘要
双光子吸收几率与光强度的平方成正比,因此,双光子吸收引发光致聚合局限在紧密聚焦的焦点区域,通过控制焦点的扫描运动可实现高精度三维加工.基于该原理,提出了一种利用飞秒激光进行微细加工的技术.根据此技术,建立了飞秒激光三维微细加工系统,该系统包括光源系统、显微镜系统、实时监测系统和精密移动系统等.研究发现,该系统加工的直线线宽最小可达500nm;加工线宽与加工速度成反比;激光功率为2mW时,最大和最小临界加工速度分别为80μm/s和1μm/s;制备出线宽1μm,宽度5μm的"CHINA"复杂结构,以及杆间距、层间距均为5μm的三维木堆型光子晶体结构.实验证实,该技术是一种非常灵活的微细加工技术.
Abstract

刘立鹏, 周明, 戴起勋, 潘传鹏, 蔡兰. 飞秒激光三维微细加工技术[J]. 光电工程, 2005, 32(4): 93. 刘立鹏, 周明, 戴起勋, 潘传鹏, 蔡兰. [J]. Opto-Electronic Engineering, 2005, 32(4): 93.

本文已被 1 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!