光电工程, 2005, 32 (7): 27, 网络出版: 2007-11-14
光学倍频影响激光外差干涉测量精度的机理
Mechanism of optical multiplication frequency effect on laser heterodyne interferometry
摘要
为了同时提高激光外差干涉测量的分辨力和精度,必须深入分析光学倍频对激光外差干涉测量精度的影响机理.在此基础上,建立了光学倍频相位测量模型,从理论上证明,光学倍频能够实现对激光外差干涉信号的细分,提高测量分辨力.光学倍频改变非线性误差的相位而使非线性误差减小,但同时改变了激光干涉多普勒频移的v/c平方项,使得残余累计误差增大.仿真结果表明,光学N倍频使非线性误差减小到原来的1/N,但使残余累计误差增大N2倍.因此,光学倍频仅适用于低速测量的场合.
Abstract
钟志, 谭久彬, 陈洪芳. 光学倍频影响激光外差干涉测量精度的机理[J]. 光电工程, 2005, 32(7): 27. 钟志, 谭久彬, 陈洪芳. Mechanism of optical multiplication frequency effect on laser heterodyne interferometry[J]. Opto-Electronic Engineering, 2005, 32(7): 27.
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