光学 精密工程, 2005, 13 (3): 272, 网络出版: 2006-11-03   

水靶激光等离子体光源11~20 nm波段光谱实验

作者单位
1 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033
2 中国科学院,研究生院,北京,100039
3 吉林大学,原子与分子物理研究所,吉林,长春,130026
摘要
实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线-极紫外辐射.利用McPHERSON 247型掠入射软X射线-真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11~20 nm波段水靶激光等离子体光源的光谱.实验表明,在11~20 nm波段水靶激光等离子体光源存在多条线谱,均由水中氧离子电子跃迁产生.所用单色仪光谱分辨率△λ≤0.075 nm,波长扫描间隔0.5 nm.另外,采用在喷嘴处加热的办法,很好地解决了水进入真空系统后绝热膨胀与蒸?⒐讨形露戎杞刀岜奈侍?有效地抑制了喷射距离缩短,克服了等离子体对喷嘴腐蚀严重的问题.
Abstract

齐立红, 李忠芳, 尼启良, 陈波. 水靶激光等离子体光源11~20 nm波段光谱实验[J]. 光学 精密工程, 2005, 13(3): 272. 齐立红, 李忠芳, 尼启良, 陈波. [J]. Optics and Precision Engineering, 2005, 13(3): 272.

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