光学 精密工程, 2005, 13 (z1): 103, 网络出版: 2006-11-03
纳米级微间距的多波长干涉测量方法
Multi-wavelength interferometry for nanometer scale spacing
摘要
多波长干涉测量法适用于纳米级微间距的实时动态非接触测量.纳米级间隙之间的空气形成一层具有光学特性的空气薄膜.该空气薄膜的光强反射率是关于入射光波长和薄膜厚度的函数.在多波长干涉法中,以包含多种波长的复合入射光照射薄膜,入射光被空气薄膜分成2部分,一部分穿过薄膜,另一部分则被反射回来.利用一种特殊的方法测得该薄膜的光强反射率,进而根据薄膜厚度与入射光波长和相应的光强反射率之间的函数关系建立方程组.通过对方程组求解,计算出薄膜的厚度.多波长干涉测量法能够避免移相干涉法中移相器所带来的误差,并且可根据不同波长的光波测出的结果相互校正,提高了测量精度.通过实验对多波长干涉测量法进行了验证,实验结果充分证明了系统设计及理论依据的正确性.
Abstract
沈邦兴, 汪威, 张海波. 纳米级微间距的多波长干涉测量方法[J]. 光学 精密工程, 2005, 13(z1): 103. 沈邦兴, 汪威, 张海波. Multi-wavelength interferometry for nanometer scale spacing[J]. Optics and Precision Engineering, 2005, 13(z1): 103.
PDF全文
