光学 精密工程, 2005, 13 (z1): 138, 网络出版: 2006-11-03
新型纳米三坐标测量机Z轴的研制
Development of Z axis for a new nano-CMM
摘要
介绍了一种新型纳米三坐标测量机Z轴的结构设计.提出了两级驱动式结构,即通过粗动与微动相结合的驱动方式实现纳米级精度.第一级粗动,采用2个NANOMOTION LS4系列大行程纳米电机从两侧同时驱动,克服了单侧驱动的不利因素,使得机构运行时更加稳定;第二级微动,采用压电陶瓷驱动,通过柔性铰链位移缩小结构将位移分辨率提高到1 nm.计算和分析表明,这种新型的两级驱动式结构可以满足纳米三坐标测量机Z向测量高精度、大行程要求.
Abstract
王继臣, 胡鹏浩, 卫兵. 新型纳米三坐标测量机Z轴的研制[J]. 光学 精密工程, 2005, 13(z1): 138. 王继臣, 胡鹏浩, 卫兵. Development of Z axis for a new nano-CMM[J]. Optics and Precision Engineering, 2005, 13(z1): 138.
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