光学 精密工程, 2006, 14 (1): 77, 网络出版: 2008-02-18
硅微光机械加速度地震检波器中M-Z光波导干涉仪结构设计
Structure design of Mach-Zehnder interferometer in electrooptic integrated acceleration seismic geophone
摘要
提出了一种新型的硅基M-Z干涉型光电集成加速度地震检波器.对硅基微光电机械加速度地震检波器的M-Z光波导干涉仪系统进行了系统研究和优化设计,采用K9玻璃作为基底层和包层材料,Bak7玻璃作为波导层材料,波导的宽度为4 μm,厚度为0.4 μm.M-Z光波导干涉仪的Y分支设计中采用上升反正弦S型弯曲,为适用于该干涉仪的信号臂和参考臂大跨距的特殊结构,应用波导转向镜实现了大角度光路转折,反射转向镜的内介质采用镀制金属铝膜得以实现,并利用BPM进行了仿真.为了防止TE模偏振光的偏振态经铝膜全反射后发生变化,加了4个长度为1 mm的TE模偏振器以保持其偏振态.实验结果与理论相符.
Abstract
张燕君, 陈才和, 吴波, 崔宇明, 马广鹏. 硅微光机械加速度地震检波器中M-Z光波导干涉仪结构设计[J]. 光学 精密工程, 2006, 14(1): 77. 张燕君, 陈才和, 吴波, 崔宇明, 马广鹏. Structure design of Mach-Zehnder interferometer in electrooptic integrated acceleration seismic geophone[J]. Optics and Precision Engineering, 2006, 14(1): 77.
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