光学 精密工程, 2006, 14 (4): 623, 网络出版: 2008-02-18
新型惯性式压电驱动机构的研究
Research on novel inertial piezoelectric actuator
摘要
基于控制移动机构和支撑面之间摩擦力的方法,提出了新型惯性冲击式压电陶瓷驱动机构的研究方案.分析了驱动机构的工作原理,驱动电压与驱动力、位移之间的关系,设计、制做了可实现直线往复运动的压电微型驱动器结构,并作了相关的性能测试.实验结果表明,采用简单的对称信号波形能驱动机构运动.直线驱动器最高速度可达1 mm/s,最大步长分辨率为20 nm,最大承载能力为1 000g.
Abstract
曾平, 温建明, 程光明, 吴博达, 杨志刚. 新型惯性式压电驱动机构的研究[J]. 光学 精密工程, 2006, 14(4): 623. 曾平, 温建明, 程光明, 吴博达, 杨志刚. Research on novel inertial piezoelectric actuator[J]. Optics and Precision Engineering, 2006, 14(4): 623.