光学 精密工程, 2004, 12 (z1): 1, 网络出版: 2006-11-03
磁悬浮转子微陀螺的设计技术
Design on micromachined gyroscope with electromagnetic levitating rotor
摘要
磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2 200μm、厚度25 μm,定子线圈线宽10μm、厚度5μm,悬浮励磁频率10 MHz、旋转励磁频率2 MHz的微陀螺,解决了三维非硅准LiGA技术加工微陀螺中的引线、绝缘、摩擦柱成型问题,并进行了相关的陀螺悬浮旋转试验,该陀螺在空气环境下能够以1000 r/min旋转,悬浮高度200μm,说明这种陀螺的原理和设计方法是可行的.
Abstract
张卫平, 陈文元, 吴校生, 赵小林, 崔峰, 黄晓刚, 刘武. 磁悬浮转子微陀螺的设计技术[J]. 光学 精密工程, 2004, 12(z1): 1. 张卫平, 陈文元, 吴校生, 赵小林, 崔峰, 黄晓刚, 刘武. Design on micromachined gyroscope with electromagnetic levitating rotor[J]. Optics and Precision Engineering, 2004, 12(z1): 1.
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