光学 精密工程, 2004, 12 (z1): 115, 网络出版: 2006-11-03
数字化阴影法测量光学元件表面面形的研究
Digital shadow method for measuring optical surface
摘要
提出了阴影检测技术的一种新型数字化方法,用于定量测量光学元件表面的局部面形误差量.在阴影测量装置后搭建数字图像提取和处理系统,运用傅里叶光学原理进行测量方法的数学建模.利用数字图像系统提取阴影检测图像,通过对阴影检测图像特征的分析重构出光学元件面形.仿真结果表明,运用该模型提取一抛物面镜的面形信息,在一维径向方向上可以达到1 λ(λ=632.8 nm)RMS的重构精度,可以满足光学元件加工粗抛光阶段测量的要求.
Abstract
辛科, 程灏波, 冯之敬. 数字化阴影法测量光学元件表面面形的研究[J]. 光学 精密工程, 2004, 12(z1): 115. 辛科, 程灏波, 冯之敬. Digital shadow method for measuring optical surface[J]. Optics and Precision Engineering, 2004, 12(z1): 115.
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