激光干涉微轮廓测量仪

宋康; 赵玉龙; 蒋庄德

光学精密工程, 2003, 11 (3): 245, 网络出版: 2006-11-03

激光干涉微轮廓测量仪

宋康赵玉龙蒋庄德

作者单位

西安交通大学,机械工程学院,陕西,西安,710049

微轮廓测量仪压电陶瓷激光干涉

摘要

基于Michelson干涉仪测量原理研制的微轮廓测量仪,载物平台采用步进电机和压电陶瓷(PZT)两级闭环驱动与定位,步进电机用于快速粗定位和扩大测量范围,压电陶瓷用于精密定位,重复定位精度为10 nm;测量光路采用共干涉系统,对机械振动,温度漂移不敏感;测量范围20 mm×20 mm×0.4 mm,纵向分辨率为0.32 μm,横向分辨率为0.5μm.

Abstract

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宋康, 赵玉龙, 蒋庄德. 激光干涉微轮廓测量仪[J]. 光学精密工程, 2003, 11(3): 245. 宋康, 赵玉龙, 蒋庄德. [J]. Optics and Precision Engineering, 2003, 11(3): 245.