光学 精密工程, 2003, 11 (4): 338, 网络出版: 2006-11-03
直线驱动磁悬浮进给机构的研究
摘要
分析了传统机械进给机构的特点,设计了一种集磁悬浮和线性驱动技术为一体的精密进给平台机构,此机构采用直线同步电机对悬浮的平台机构提供驱动力.这种驱动方式避免了传统驱动方式造成的摩擦、弹性变形、滞后和非线性误差,实现了平台进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向.针对磁悬浮平台进给机构设计了直线同步电机的结构,并对直线电机产生的磁力进行分析计算.直线驱动技术在磁悬浮平台进给机构中的应用使进给系统具有响应?焖佟⒏斩雀咭约岸ㄎ痪返奶氐?能够满足微电子设备高精度、高效率和超洁净加工的需要.
Abstract
孙宝玉, 梁淑卿, 宋文荣, 王延风, 何惠阳. 直线驱动磁悬浮进给机构的研究[J]. 光学 精密工程, 2003, 11(4): 338. 孙宝玉, 梁淑卿, 宋文荣, 王延风, 何惠阳. [J]. Optics and Precision Engineering, 2003, 11(4): 338.
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