光学 精密工程, 2003, 11 (6): 567, 网络出版: 2006-11-03
抗振型移相干涉仪中PZT移相器的改进
摘要
结合移相式干涉仪主动抗振技术,提出对普通PZT光学移相器进行机械结构的优化,改善其机械响应性能并保证有足够的位移量.作为机电反馈式干涉仪抗振系统的核心部件,改进后的PZT构件用于干涉仪的移相驱动,同时又用作光学相位调制器和振动补偿器.经移相干涉仪的在线测量,PZT移相器达到了1 000 Hz(振动幅度为λ/2)以上的时间响应速度并获得了6 μm左右的位移量,满足了干涉抗振系统的需要.
Abstract
吴栋, 朱日宏, 陈磊, 何勇, 王青, 高志山. 抗振型移相干涉仪中PZT移相器的改进[J]. 光学 精密工程, 2003, 11(6): 567. 吴栋, 朱日宏, 陈磊, 何勇, 王青, 高志山. [J]. Optics and Precision Engineering, 2003, 11(6): 567.