强激光与粒子束, 2006, 18 (8): 1265, 网络出版: 2007-01-11   

微加工薄膜变形镜本征模分析

Eigen mode of micromachined membrane deformable mirror
作者单位
1 中国科学院,光电技术研究所,成都,610209
2 中国科学院,研究生院,北京,100080
摘要
介绍了变形镜本征模的构造过程及其特点,分析了从荷兰OKO公司购买的37单元微加工薄膜变形镜的本征模,并用前65阶Zernike多项式分析微加工薄膜变形镜的37阶本征模的特性.搭建了以微加工薄膜变形镜作为波前校正器、变形镜本征模为波前复原控制算法以及高分辨率Shack-Hartmann波前传感器为波前探测器的自适应光学实验系统.实验结果表明:变形镜本征模可以实现模式筛选,也可作为自适应光学系统的波前复原算法.
Abstract

李恩德, 戴云, 王海英, 张雨东. 微加工薄膜变形镜本征模分析[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(8): 1265. 李恩德, 戴云, 王海英, 张雨东. Eigen mode of micromachined membrane deformable mirror[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18(8): 1265.

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