强激光与粒子束, 2006, 18 (8): 1302, 网络出版: 2007-01-11
溶胶-凝胶工艺制备SiO2薄膜的结构控制和稳定性研究
Structure control and stability in preparation of silica film via Sol-Gel process
摘要
采用溶胶-凝胶工艺在酸性、碱性和碱/酸两步催化条件下制备纳米多孔结构的SiO2薄膜.使用透射电子显微镜(TEM)、激光粒子分析仪测试了溶胶的微观结构和颗粒分布;使用反射式扫描椭偏仪、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)测试了薄膜的光学性能和微观形貌.结果表明:通过改变溶胶-凝胶过程中的催化条件可控制薄膜微观结构和光学性能.溶胶在长期存贮期间符合镀膜的稳定性要求.
Abstract
肖轶群, 谢志勇, 沈军, 周斌, 吴广明. 溶胶-凝胶工艺制备SiO2薄膜的结构控制和稳定性研究[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(8): 1302. 肖轶群, 谢志勇, 沈军, 周斌, 吴广明. Structure control and stability in preparation of silica film via Sol-Gel process[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18(8): 1302.
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