光子学报, 2007, 36 (2): 300, 网络出版: 2007-05-22
研究扩散屏障层对Mo/Si多层膜软X射线反射率影响的模拟
A Simulation Study of the Influence of Interdiffusion Barrier on Soft X-ray Reflectivity of Mo/Si Multilayers
摘要
在特定波长下,用四层结构模型模拟了Mo/Si多层膜的软X射线反射率.研究了扩散屏障层dMo-on-Si和dSi-on-Mo对Mo/Si多层膜软X射线反射率的影响.研究发现,扩散屏障层并不总是损害Mo/Si多层膜的光学性能,通过合理设计dMo-on-Si和dSi-on-Mo厚度,增加dMo-on-Si与dSi-on-Mo的比值,也能提高多层膜的软X射线反射率.
Abstract
秦俊岭, 邵建达, 易葵, 范正修. 研究扩散屏障层对Mo/Si多层膜软X射线反射率影响的模拟[J]. 光子学报, 2007, 36(2): 300. 秦俊岭, 邵建达, 易葵, 范正修. A Simulation Study of the Influence of Interdiffusion Barrier on Soft X-ray Reflectivity of Mo/Si Multilayers[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2007, 36(2): 300.