光子学报, 2007, 36 (2): 304, 网络出版: 2007-05-22   

纤锌矿GaN薄膜光学性质的研究

Study on Optical Characteristics of Wurtzine GaN
作者单位
中国科学院上海技术物理所,传感技术国家重点实验室,上海,200083
摘要
在测试大量纤锌矿GaN外延薄膜透射光谱基础上,通过对有代表性的四个样品的透射光谱进行拟合,获取了GaN外延薄膜的光学常量并计算了薄膜厚度.结果表明:GaN外延薄膜的折射率差异较小,但在370~800 nm波长范围内消光系数差异很大,GaN薄膜的消光系数差异在一定程度上可用以评价外延薄膜的质量.
Abstract

李雪, 魏彦峰, 龚海梅, 方家熊. 纤锌矿GaN薄膜光学性质的研究[J]. 光子学报, 2007, 36(2): 304. 李雪, 魏彦峰, 龚海梅, 方家熊. Study on Optical Characteristics of Wurtzine GaN[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2007, 36(2): 304.

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