光子学报, 2007, 36 (2): 308, 网络出版: 2007-05-22
光学薄膜膜厚自动控制系统的研究
Research of an Automatic System Monitoring Thickness of Optical Thin-Film
摘要
介绍了一种利用光电极值法同时控制规整膜系和非规整膜系的方法,利用VC++编写程序实现对光学监控信号的采集、处理及停镀点的自动判断,实现了规整膜系和非规整膜系膜层厚度的自动控制.并利用该膜厚自动控制系统实验制备了规整膜系和非规整膜系多层膜,实验结果表明:利用该系统镀制的薄膜重复性良好,且光谱曲线和理论光谱曲线吻合较好.该系统解决了非规整膜系的监控问题,由计算机控制膜层的停镀点,排除了人的主观因素对薄膜的性能及其制备的重复性产生的影响,提高了薄膜镀制的重复性和成品率.
Abstract
朱美萍, 易葵, 郭世海, 范正修, 邵建达. 光学薄膜膜厚自动控制系统的研究[J]. 光子学报, 2007, 36(2): 308. 朱美萍, 易葵, 郭世海, 范正修, 邵建达. Research of an Automatic System Monitoring Thickness of Optical Thin-Film[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2007, 36(2): 308.
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