强激光与粒子束, 2007, 19 (2): 327, 网络出版: 2007-05-22
化学气相沉积SiC材料超光滑表面纳米加工
Super-smooth surface nanometer fabrication of chemical vapor deposition SiC
摘要
利用传统光学加工方法,采用陶瓷磨盘和金刚石微粉对国产化学气相沉积(CVD)SiC进行了粗磨、细磨加工;然后,利用颗粒直径从4 μm到1 μm的金刚石研磨膏逐级进行抛光,发现SiC表面存在纳米级划痕;最后,改用颗粒直径为20 nm氧化铝纳米颗粒的碱性水溶液进行抛光,表面粗糙度达到0.6 nm(RMS),表面纳米级划痕得到很好改善,获得了较高表面质量的超光滑表面.
Abstract
公发全, 肖鹏, 黄润兰, 李刚, 刘万发, 董闯. 化学气相沉积SiC材料超光滑表面纳米加工[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(2): 327. 公发全, 肖鹏, 黄润兰, 李刚, 刘万发, 董闯. Super-smooth surface nanometer fabrication of chemical vapor deposition SiC[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(2): 327.