光学 精密工程, 2006, 14 (6): 986, 网络出版: 2008-02-18
压弯光栅线密度检测
Determination of groove density for bending gratings
摘要
对压弯光栅的线密度进行了实验研究.首先制作了大变化率的变线距光栅(约9.2 line/mm),并选取薄玻璃(0.16 mm)作为光栅基底材料.其后采用长程面形仪测试压弯后光栅面形,使用衍射法测试压弯前后光栅线密度,从而得到线密度的变化曲线.实验与理论计算结果误差小于0.41 line/mm rms.
Abstract
刘斌, 楼俊, 刘正坤, 王秋平, 徐向东, 付绍军. 压弯光栅线密度检测[J]. 光学 精密工程, 2006, 14(6): 986. 刘斌, 楼俊, 刘正坤, 王秋平, 徐向东, 付绍军. Determination of groove density for bending gratings[J]. Optics and Precision Engineering, 2006, 14(6): 986.
PDF全文
