光学 精密工程, 2006, 14 (6): 998, 网络出版: 2008-02-18   

微细电火花加工的微细电极在线检测

Micro electrodes on-line measurement in micro EDM
作者单位
1 哈尔滨工业大学,机电工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001
2 上海交通大学,机械与动力工程学院,上海,200030
摘要
设计了微细电极在线检测系统.系统由卤素灯光源、变焦显微镜头、CCD摄像机和6自由度支架组成,具有1.61 μm的分辨率和113~729的放大率.在Linux平台下,基于V4L2 API开发了图像采集程序,使用mmap()内存映射方法获取图像数据.实现了IplImage数据结构和QImage类的转换,使图像既可以基于OpenCV进行处理,又可以基于Qt进行显示,通过Canny边缘检测算法提取了微细电极的边缘轮廓.实现了电极在线观测的G代码功能,进行了块状电极电火花磨削微细轴的实验.实验结果表明系统可以在线观察电极状态和在线测量电极尺寸,在线测量值与扫描电镜离线测量值的相对误差在5%以内, 解决了微细电火花加工的微细电极在线制造和检测等难题.
Abstract

郭锐, 赵万生, 李刚, 李志勇, 张勇. 微细电火花加工的微细电极在线检测[J]. 光学 精密工程, 2006, 14(6): 998. 郭锐, 赵万生, 李刚, 李志勇, 张勇. Micro electrodes on-line measurement in micro EDM[J]. Optics and Precision Engineering, 2006, 14(6): 998.

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