光学 精密工程, 2007, 15 (1): 1, 网络出版: 2008-02-18
软X射线掠入射金属光栅闪耀特性的校正傅里叶展开微分法分析
Analysis on blaze characteristics of grazing incidence metal grating in soft X-ray region by differential theory with correct Fourier expansion
摘要
在有限电导率光栅的微分理论中引入校正傅里叶展开方法,改善了计算收敛性.运用改进后的微分理论对软X射线波段掠入射金属光栅的闪耀特性做了数值分析,通过详细考察三角槽形、正弦槽形和矩形镀金光栅的软X射线-1级衍射效率对光栅结构参数和入射光状态参数的响应程度,给出了一种在使用和制作工艺上都能够接受的光栅技术指标.结果表明,作为闪耀波长为10.33 nm的软X射线波段掠入射镀金光栅,采用81°入射的刻线密度为1 200 l/mm,倾斜角为2°,顶角大于120°的三角槽形光栅较为合适,其效率可达到50%以上.同时,得到了一些优化软X射线波段掠入射金属光栅设计的新结论.
Abstract
巴音贺希格, 朱洪春. 软X射线掠入射金属光栅闪耀特性的校正傅里叶展开微分法分析[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(1): 1. 巴音贺希格, 朱洪春. Analysis on blaze characteristics of grazing incidence metal grating in soft X-ray region by differential theory with correct Fourier expansion[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(1): 1.