为了实现对工件的自动影像测量,建立了自动影像测量系统.对该系统所采用的图元识别、图元测量、基于自动聚焦原理的高度测量等算法进行研究.根据圆形和矩形图元的面积和真圆度等特征参数介绍了图元识别算法.以直线和圆形图元为例分析了典型图元的测量算法,即在提取图元边缘点的基础上进行图元拟合.在分析比较能量谱等聚焦评价方法的性能的基础上,说明了采用自动聚焦原理进行高度测量的算法.最后,介绍了系统比例尺的设定方法以及光栅尺读数的误差补偿方法.实验结果表明:比例尺的标定精度为0.5 μm图元的测量精度在微米级;高度测量精度为0.035 mm,基本满足自动影像测量的稳定可靠、精度高、抗干扰能力强等要求.