光学 精密工程, 2007, 15 (3): 422, 网络出版: 2008-02-18
压印对正系统中标记图像几何畸变的校正
Mark image geometric distortion calibration in alignment system for multilevel imprint lithography
摘要
在综合分析了多种线性及非线性畸变后,建立了三次多项式图像系统畸变模型.采用基于控制点偏差目标函数最小优化法进行畸变模型的求解,并通过计算自标定偏差均方差与互标定偏差均方差对标定结果进行了评定.结果表明,模型求解误差为0.22 μm,通过校正标记图像几何畸变引入的定位误差由2.5 μm降低到0.25 μm,可实现压印对正系统中标记图像几何畸变的校正,实现精确定位.
Abstract
王权岱, 段玉岗, 丁玉成, 关宏武, 卢秉恒. 压印对正系统中标记图像几何畸变的校正[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(3): 422. 王权岱, 段玉岗, 丁玉成, 关宏武, 卢秉恒. Mark image geometric distortion calibration in alignment system for multilevel imprint lithography[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(3): 422.
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