红外与激光工程, 2006, 35 (5): 513, 网络出版: 2007-05-23
光学薄膜常数的测试与分析
Test and analysis of optical film constants
摘要
光学薄膜常数-折射率、消光系数和膜层厚度是光学薄膜制备的基础,通过透射光谱法测试计算得到的薄膜常数具有较高的精度.Ta2O5是一种常用的氧化物薄膜,研究了两种透射光谱法计算光学薄膜常数的精度,利用Lambda900分光光度计获得了Ta2O5薄膜样品的透过率光谱数据,采用透射光谱包络线法对单层Ta2O5薄膜样品的光学常数进行计算,得到的折射率和消光系数较为准确,并且认为所得到的消光系数为广义消光系数,对精确地测试、计算提出了建议,为不同薄膜样品的制备奠定了技术基础.
Abstract
季一勤, 刘华松, 张艳敏. 光学薄膜常数的测试与分析[J]. 红外与激光工程, 2006, 35(5): 513. 季一勤, 刘华松, 张艳敏. Test and analysis of optical film constants[J]. Infrared and Laser Engineering, 2006, 35(5): 513.
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