红外与激光工程, 2006, 35 (6): 777, 网络出版: 2007-05-23
含氢非晶碳膜(a-C:H)红外光学特性的研究
Infrared optical properties of hydrogenated amorphous carbon films (a-C:H)
摘要
采用端部霍尔离子源在硅基底上制备了含氢非晶碳膜(a-C:H),并测量了4 000～1 500 cm-1的红外透射光谱.基于单层薄膜的透射关系,获得了仅有六个拟合参数的光学常数计算模型.利用该模型,可以同时获得薄膜在宽波段范围内的光学常数和厚度:折射率的最大值为1.94,消光系数的最大值为0.014 9,拟合薄膜厚度为617 nm.
Abstract
潘永强, 吴振森. 含氢非晶碳膜(a-C:H)红外光学特性的研究[J]. 红外与激光工程, 2006, 35(6): 777. 潘永强, 吴振森. Infrared optical properties of hydrogenated amorphous carbon films (a-C:H)[J]. Infrared and Laser Engineering, 2006, 35(6): 777.
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