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铌酸钡钠光波导薄膜的脉冲激光淀积制备和研究

Investigation on Barium Sodium Niobate Optical-Waveguide Films by Pulsed Laser Deposition Technique

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摘要

报道了用脉冲激光淀积(PLD)方法在磷酸氧钛钾(KTP)晶体(100)面上生长沿[110]取向的铌酸钡钠(BNN)光波导薄膜。X射线衍射,扫描电子显微镜,X射线光电子能借测量表明生长的BNN膜是外延单晶膜。膜表面粗糙度很小。光波导模式和光损耗测量表明膜具有较低的损耗。

Abstract

This paper reports that the barium sodium niobate (BNN) optical-waveguide film with orientation [110] has been epitaxially grown on the (100) plane of substrate KTiOPO4(KTP) by pulsed laser deposition (PLD). The measurements of XRD, SEM and XPS show that the as- grown BNN film is epitaxial single crystal with smooth surface. The measurements of optical-waveguide mode and propagation loss indicate that the film is of good optical waveguide properties with low loss.

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补充资料

所属栏目:材料与薄膜

收稿日期:1994-08-02

修改稿日期:1994-11-14

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张苹:南京大学固体微结构物理国家重点实验室, 南京 210093
张锋:南京大学固体微结构物理国家重点实验室, 南京 210093
刘俊明:南京大学固体微结构物理国家重点实验室, 南京 210093
刘治国:南京大学固体微结构物理国家重点实验室, 南京 210093

引用该论文

张苹,张锋,刘俊明,刘治国. Investigation on Barium Sodium Niobate Optical-Waveguide Films by Pulsed Laser Deposition Technique[J]. Chinese Journal of Lasers, 1995, 22(6): 461-464

张苹,张锋,刘俊明,刘治国. 铌酸钡钠光波导薄膜的脉冲激光淀积制备和研究[J]. 中国激光, 1995, 22(6): 461-464

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