光子学报, 2003, 32 (7): 892, 网络出版: 2007-09-17
部分相干分数域滤波改善光刻分辨率新方法
New Filtering Approach on Partial Coherent Imaging System for Improving Photolithography Resolution
摘要
基于部分相干成像和分数傅里叶变换,提出在投影光刻系统中,利用分数域滤波改善光刻图形质量的新方法.理论和模拟分析表明:在曝光成像系统中的适当位置加入分数域滤波器,能增强滤波操作的灵活性和效果,可更有效地改善光刻图形质量,为提高曝光系统的分辨力提供一种新的有效选择.
Abstract
杜惊雷, 张怡霄, 杨静, 刘世杰, 肖啸, 郭永康, 杜春雷. 部分相干分数域滤波改善光刻分辨率新方法[J]. 光子学报, 2003, 32(7): 892. 杜惊雷, 张怡霄, 杨静, 刘世杰, 肖啸, 郭永康, 杜春雷. New Filtering Approach on Partial Coherent Imaging System for Improving Photolithography Resolution[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2003, 32(7): 892.
PDF全文
