光子学报, 2004, 33 (8): 949, 网络出版: 2007-09-17
一种超小型1×2微机械光开关
A Micromachining-based Miniature 1×2 MEMS Optical Switch
摘要
设计制作了一种非硅基底的1×2微机械光开关,利用电磁驱动微反射镜运动实现输出端口切换,开关时间＜3 ms,封装尺寸缩小至21 mm×16 mm×12.6 mm,驱动电压5 VDC,经5×106次开关重复性测试,性能稳定.
Abstract
鲍俊峰, 邹勇卓, 吴兴坤. 一种超小型1×2微机械光开关[J]. 光子学报, 2004, 33(8): 949. 鲍俊峰, 邹勇卓, 吴兴坤. A Micromachining-based Miniature 1×2 MEMS Optical Switch[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2004, 33(8): 949.
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