光子学报, 2003, 32 (10): 1216, 网络出版: 2007-09-17
适用于硅微谐振器件测量的光纤位移传感器研究
Research on the Optic-fiber Sensor Suitable for Deflection Measurement of Silicon Micromechanical Resonators
摘要
对一种适用于硅微机械谐振器件测量的光纤位移传感器进行了研究,该光纤位移传感器探头采用了单根光纤探测形式和光纤"X"耦合器结构,在微弱光电传感信号处理上采用了"锁相放大器"提取方案,可以实现对静态位移和振动位移两种场合进行测量.对该传感器的实测结果表明:该传感器测量范围为0～100 μm,测量灵敏度3.95 mV/μm,精度等级优于1%,重复性优于0.5%.为作为应用实例,运用该传感系统对一种微悬臂梁硅微谐振器件进行了测量,成功提取了硅微谐振器件的微弱谐振信号,证实了该传感器可以实现对硅微谐振器件的非接触和无损测量,并具有非接触、易调试、高灵敏度等优点.
Abstract
刘月明, 田维坚, 刘君华, 张少君. 适用于硅微谐振器件测量的光纤位移传感器研究[J]. 光子学报, 2003, 32(10): 1216. 刘月明, 田维坚, 刘君华, 张少君. Research on the Optic-fiber Sensor Suitable for Deflection Measurement of Silicon Micromechanical Resonators[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2003, 32(10): 1216.
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