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溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究

Fabrication and Characterization of Sol-Gel Silica Waveguides

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摘要

采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶-凝胶,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料;用该凝胶在硅片上提拉成膜.为了增加薄膜与硅片的粘附性,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为1500的二氧化硅;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整,在5×5 μm2的范围内最大表面起伏只有0.657 nm.利用波导阵列掩膜版, 对制备的薄膜在紫外光波段下曝光,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列.研究发现:紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大.通过对样品红外吸收谱的分析,从微观机理上解释了折射率随工艺条件变化的原因.

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补充资料

中图分类号:TN252

所属栏目:薄膜光学

基金项目:国家自然科学基金(批准号:69889701)和国家重点基础研究发展规划(No.G2000036602)资助项目

收稿日期:2003-08-18

修改稿日期:--

网络出版日期:--

作者单位    点击查看

姜永睿:中科院半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083
胡雄伟:中科院半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083
杨沁清:中科院半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083
王红杰:中科院半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083
杨澜:北京化学试剂研究所,北京,100022
郑金红:北京化学试剂研究所,北京,100022
谢二庆:兰州大学物理科学与技术学院,兰州,730000

备注:Jiang Yongrui was born in 1978, in Shanxi Province. She received the B.S. Degree in physics from Lanzhou University in 2001. Now she is working for M.S. Degree in optoelectronics in Institute of Semiconductors of Chinese Academy of Sciences, Beijing. Her primary area of research is the waveguide material with sol-gel technology.Email:yongrui_jiang@smic.com

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引用该论文

姜永睿,胡雄伟,杨沁清,王红杰,杨澜,郑金红,谢二庆. Fabrication and Characterization of Sol-Gel Silica Waveguides[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2004, 33(9): 1140-1143

姜永睿,胡雄伟,杨沁清,王红杰,杨澜,郑金红,谢二庆. 溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究[J]. 光子学报, 2004, 33(9): 1140-1143

被引情况

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