光子学报, 2004, 33 (12): 1493, 网络出版: 2007-09-17
干涉仪环境振动的外差检测与自适应控制
Heterodyne Measurement and Adaptive Control for Environmental Micro-vibration in Phase-shifting Interferometer
摘要
测试环境的微振动干扰会引起干涉图的抖动,影响移相干涉仪的测量准确.设计了一种内嵌于移相干涉仪的外差测振光路,对干涉仪所受环境微振动进行实时检测;采用单片RF/IF集成芯片对两路40 MHz的模拟外差信号直接进行比相,简化了通常使用的数字测相方法.在测得环境振动信息后,运用DSP技术和自适应信号处理的方法,实现了基于PZT移相器的自适应振动控制,实验结果表明干涉仪对幅频积不大于100 waves·Hz的环境振动的抑制能力达-39 dB.
Abstract
吴栋, 朱日宏, 陈磊, 何勇, 姬会东. 干涉仪环境振动的外差检测与自适应控制[J]. 光子学报, 2004, 33(12): 1493. 吴栋, 朱日宏, 陈磊, 何勇, 姬会东. Heterodyne Measurement and Adaptive Control for Environmental Micro-vibration in Phase-shifting Interferometer[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2004, 33(12): 1493.
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