光子学报, 2007, 36 (4): 686, 网络出版: 2007-09-17  

基于几何莫尔效应的剪应力传感器设计研究

Investigation of a Micro Shear Stress Sensor Using the Geometrical Moiré Effect
作者单位
西北工业大学,微/纳米系统实验室,西安,710072
摘要
结合风洞检测剪应力对高灵敏度和高响应频率传感器的设计要求,提出了基于莫尔效应转化敏感元件位移的微型光栅式剪应力测量方式.针对传感器的机械灵敏度、线性度和谐振频率的应用要求对敏感元件进行设计,并在敏感元件结构设计尺寸的基础上对莫尔条纹灵敏度及其相位变化进行分析计算,完成微型光栅式剪应力传感器的结构设计流程.
Abstract

刘奎, 苑伟政, 邓进军, 马炳和, 姜澄宇. 基于几何莫尔效应的剪应力传感器设计研究[J]. 光子学报, 2007, 36(4): 686. 刘奎, 苑伟政, 邓进军, 马炳和, 姜澄宇. Investigation of a Micro Shear Stress Sensor Using the Geometrical Moiré Effect[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2007, 36(4): 686.

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