强激光与粒子束, 2007, 19 (6): 1035, 网络出版: 2007-09-17
平台式和斜坡式表面放电辐射源放电特性的比较
Discharge characteristics of slope and plane surface discharge radiation sources
摘要
介绍了平台式和斜坡式两种结构的表面放电辐射源,研究了在1.0 μF和1.5 μF储能电容、15～30 kV充电电压等实验条件下两种辐射源的放电特性,并对实验结果进行了比较分析.得到如下结论:对于斜坡式辐射源,增加电极间距可导致放电回路面积增大,因此等效电阻和等效电感也将增加;在相同电压及电容值条件下,斜坡式辐射源的放电电流、平均沉积功率均小于平台式辐射源的相应值,但放电沉积效率略大;电压升高使放电周期、电流达到峰值时间及放电沉积效率呈减小趋势,对于同一种辐射源,使用1.5 μF电容时放电回路参数更加匹配,放电沉积效率得到提高.
Abstract
安晓霞, 于力, 黄超, 马连英, 华恒祺, 易爱平. 平台式和斜坡式表面放电辐射源放电特性的比较[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(6): 1035. 安晓霞, 于力, 黄超, 马连英, 华恒祺, 易爱平. Discharge characteristics of slope and plane surface discharge radiation sources[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(6): 1035.
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