激光技术, 2002, 26 (2): 94, 网络出版: 2007-09-18
准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究
Micropatterns on polymers etched by excimer lasers
摘要
主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺(polyimide,PI)制作微图案实验.通过这种刻蚀方法,成功地在PI上制作了微米量级线宽和亚微米量级深度的图案.
Abstract
章琳, 楼祺洪, 魏运荣, 董景星, 李铁军, 黄峰. 准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究[J]. 激光技术, 2002, 26(2): 94. 章琳, 楼祺洪, 魏运荣, 董景星, 李铁军, 黄峰. Micropatterns on polymers etched by excimer lasers[J]. Laser Technology, 2002, 26(2): 94.
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