激光技术, 2004, 28 (3): 255, 网络出版: 2007-09-18
CO2激光辐照下光学薄膜的温度场与热畸变
Temperature field distribution and thermal distortion of thin film coatings irradiated by CO2 laser
摘要
介绍了光学薄膜温度场的基本理论,利用交替隐型技术,对10.6μm激光辐照下介质薄膜的温度场分布进行了数值模拟和理论分析.在此基础上,利用夏克-哈特曼波前传感器对介质基底样品、不同厚度的介质单层膜样品以及不同膜系的YbF3/ZnSe介质多层膜样品在10.6μm CO2激光辐照下的热畸变进行了实验研究.研究结果表明,激光辐照下光学薄膜样品的温度场分布与辐照激光的光场分布、激光功率以及激光的辐照时间等因素有关.对于10.6μm激光而言,Ge最适宜做基底材料.
Abstract
杨富, 黄伟, 张彬, 楚晓亮, 刘志国, 蔡邦维. CO2激光辐照下光学薄膜的温度场与热畸变[J]. 激光技术, 2004, 28(3): 255. 杨富, 黄伟, 张彬, 楚晓亮, 刘志国, 蔡邦维. Temperature field distribution and thermal distortion of thin film coatings irradiated by CO2 laser[J]. Laser Technology, 2004, 28(3): 255.
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