激光技术, 2004, 28 (5): 463, 网络出版: 2007-09-18
脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜
Study on the Al/Ag doping functional gradient thin films deposited by pulsed excimer laser
摘要
为了寻找制备梯度金属薄膜的新方法和新工艺,采用脉冲准分子激光扫描沉积技术,在Si(100)单晶衬底上沉积了Al/Ag掺杂功能梯度薄膜,并采用SEM 和XPS 对制备的薄膜进行了微观分析.分析结果表明,运用合适的激光参数和辅助放电,在沉积温度300℃时,制备出了Al/Ag组分比近似为5∶ 1的掺杂梯度薄膜.该实验方法说明,利用脉冲激光与金属掺杂靶相互作用沉积梯度金属薄膜是可行的.
Abstract
胡少六, 江超, 何建平, 王又青. 脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜[J]. 激光技术, 2004, 28(5): 463. 胡少六, 江超, 何建平, 王又青. Study on the Al/Ag doping functional gradient thin films deposited by pulsed excimer laser[J]. Laser Technology, 2004, 28(5): 463.
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